纳米银墨水印刷性能

断面形状

激光显微镜评测
矩形形状的配线印刷断面
印刷结果:线幅＜2.7μm
膜厚:240nm

面电阻值

膜厚:200nm
最小面电阻值:0.16Ω/sq
(固态银≒0.08Ω/sq)

对位

对位标记点的自动对位精度：±1.0μm
对应5μm回路对位