ナノAｇインク印刷性能

断面形状

レーザ顕微鏡評価
矩形形状の配線印刷断面
印刷結果 ： 線幅 ＜ 2.7μm
　　　　　　 厚み 240nm

面抵抗値

膜厚：200nm
最小面抵抗値 ： 0.16Ω/sq
　　（バルク銀≒0.08Ω/sq）

アライメント

アライメントマーク部での
　自動アライメント精度 : ±1.0μm
5μm回路アライメント対応