反射式膜厚モニタ
光干渉法を用いた反射式膜厚モニタです。光学特性に優れた反射プローブを採用し、小型で高精度です。
取り扱いが簡単で、1nmから数十μmの透明膜の膜厚測定が可能です。
またプロセス中のインラインモニタやエンドポイント(終点)検出センサとしても利用可能です。
オプションのマッピングユニットと組み合わせて、半導体製造装置のロードポートに設置して、クリーン度を保ったまま製造装置上で膜厚管理が可能です。
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