標準仕様
ワークを選ばない大ストローク
2種類の照明を手元で制御
操作ハンドル
手元での操作が可能X、Y軸はもちろん、フォーカス軸、照明の調整がダイヤル操作で可能
(X,Y)基本仕様
| 1.測定ストローク | 700mm × 900mm |
|---|---|
| 2.最大測定物サイズ | 1000mm × 1250mm |
| 3.測定最大厚み | 60mm |
| 4.最小読み取り単位 | 0.1μm |
| 5.測定精度(X,Y)※1 |
|
| 6.測定繰り返し精度(3σ) | 0.9μm |
| 7.測定精度(Z) | 1.5 ＋ 4L(μm)／1000μm |
| 8.電気仕様 | 1φ 200_230V 0.4kw(2.0A) 50/60Hz |
| 9.装置重量 | 1，280kg |
※1：(U1)単軸精度、(U2)対角精度
剛性の高いボディ設計により高い装置制度
測定精度(X,Y軸) 測定誤差(単位：mm)
選択仕様
標準搭載の「可変倍率制御顕微鏡ヘッド」により、1x、2x、3x、4x、8xの拡大が可能ですが、2x、4x、6x、8x、16xのレンズヘッドを選択することも可能です。
レンズは光学4倍率ズーム ＋ デジタルズームの高倍率
