ファイバー式膜厚モニタは、小型反射プローブを採用し、実験室レベルから生産工程でのインライン全数検査まで、すべての場面で適用可能な光干渉法による反射分光式膜厚計です。保守性に優れ、プロセス装置内への組み込みやライン管理用途としても利用できます。
最大9種類の透明膜の同時測定が可能です。
メンテナンス性に優れ、プロセス装置内への組み込みやライン管理用途としても利用できます。
例えば、成膜,研磨,エッチングプロセス中のインラインモニタやエンドポイントモニタ(終点検出センサ)として使え、膜厚のリアルタイムモニタリング(実時間監視)が可能です。
また、ポリシリコンの結晶性評価ポーラス膜の密度評価としても適用可能です。

  1. 小型ファイバープローブ対象面からプローブまでのl距離は、1mmから80mm程度を推奨します。 測定領域は約3mmφとなります。
    (オプションで1mmφのアタッチメントを用意。)
    プローブの種類を変更することにより、サンプルとの距離を100mm以上離すことが可能です。
    高さ30mmの小型プローブを採用したことで、機器内の僅かな空間に取り付け可能です。
  2. 膜厚測定再現性 0.1nm以下(3σ)30nm以上1000nm未満のSi基板上のSiO2単層膜において、0.1nm(3σ)以下。 1000nm以上のSi基板上のSiO2単層膜において、0.01%(3σ)以下。 ただし、推奨設置環境条件を満足すること。
  3. 多層膜同時測定 9層対応同時測定可能な層数は、実際の膜構造及び測定波長域に依存します。
  4. 膜質解析機能有効媒質近似法を採用しています。 なお、100nm未満の膜厚の薄膜において光学定数の解析が困難になります。
    • 有効媒質近似(EMA)法による混合層の混合率算出、結晶性判定
    • 光学定数解析
  1. 目的によって選べる光源対象膜厚と要求精度によって最適な光源は異なります。
  2. 無線対応(オプション)白色LED光源のみ対応。電源はリチウムイオンバッテリーで供給し、データはWi-Fiで通信します。
  3. 自動マッピング測定(オプション)
    動作例1:Demo 1 of Endpoint Monitor
    動作例2:Demo 2 of Endpoint Monitor
  4. 自動マッピング測定(オプション)300mmウェハまで対応可能です。

推奨環境条件

温度 :セットポイント 18 ~ 45℃の範囲内
長期変化 :±2.0℃/24時間以上(基準セットポイント)
短期変化 :±1.0℃/1時間×1周期(基準セットポイント)
湿度 :45%±20%(結露無き事)