• 透明多層膜の各層の膜厚を手軽に測定したい。
  • 複数のポイントで自動膜厚測定をしたい。
  • 10μm以下の高分解能で膜厚の分布を調べたい。
  • 半透明シートの厚さを測定したい。

反射分光式膜厚計(光干渉式)

光干渉法を用いた、反射分光式膜厚計です。
取り扱いが簡単で、1nmから数十μmの透明膜の膜厚測定が可能です。

マッピング膜厚測定ユニット SK-FTM-Map series

マッピング膜厚測定ユニットは、全面自動マッピング膜厚測定が可能です。
高精度なノッチ(オリフラ)検出機能を備えており、ファイバー式膜厚モニタと組み合わせて使用します。
半導体製造装置のロードポートに設置して、クリーン度を保ったまま製造装置上で膜厚管理が可能です。
また、ウェハ以外の任意パターン内の測定も対応可能です。

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赤外透過式分光厚み計(光吸収法)

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