装置構成

ビーム形状

プローブから測定サンプルまでの距離が30mmの場合のシミュレーション結果

照明領域 測定領域

測定対象

  • 半導体
    半導体
  • 太陽電池
    太陽電池
  • フラットパネルディスプレイ
    フラットパネルディスプレイ
  • ガラス(コーティング)・フィルム
    ガラス(コーティング)・
    フィルム