特長

赤外線透過式膜厚モニタは、バッテリのセパレータ等の半透明シート・ブラックレジストなどの低反射膜・シリコンなどの厚さを測定します。実験室レベルから生産工程でのインライン全数検査まですべての場面で適用可能な赤外吸収式膜厚計です。
コンパクトなミラープローブで構成された透過型光学系を採用した赤外線膜厚計で、１００点以上の波長を同時分光することで膜厚、密度、組成など複数のパラメータを精度よく測定することが可能です。

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   光干渉法では難しかった半透明シート・
   低反射膜・シリコンなどの厚さを測定

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   小型ファイバープローブ

   30ｍｍの小型反射プローブを採用したことで、
   機器や製造ライン内のわずかな空間に取り付け可能です。
   またプローブから本体へは光ファイバのみにて
   接続しているため、耐環境性に優れます。

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   高速測定
   950～1650nmの近赤外波長を
   100点以上で同時サンプリング

   最短1msecの高速サンプリングが可能です。
   生産ライン上でリアルタイム検出計測が可能です。
   干渉フィルタ等を回転させないため、耐久性・信頼性に優れています。

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   厚さ測定再現性 0.1%以下(3σ)

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   選択可能な２つの測定アルゴリズム

   測定アルゴリズム	較正用サンプル	測定対象
   ランベルト・ベール法	1種類	厚みのみ
   最小二乗回帰法	2種類以上	複数（厚み・密度・特定成分の混合量など）