顕微画像分光法による、透明多層膜の膜厚分布を可視化できる膜厚計です。
光干渉法により膜厚を計算しているため、
0.1nm以下の分解能で膜厚分布を3D表示可能です。
- 顕微鏡視野内の任意領域の
膜厚・膜質分布を 測定し、分布を3D表示
- 顕微鏡視野内の任意領域の
- 可視波長光干式膜厚計と同等の分解能
- 450nmから750nmの波長範囲を1nm単位で指定可能
- 反射式膜厚モニタと同じ計算エンジンを使用し並列演算
応用対象例
- ① 数百層の繰り返し積層膜、トレンチなどの複合構造
- ② EMA(有効媒質近似)法によるサブミクロンパターンの密度推定
- ③ 局所的な結晶性評価
- ワークとアプリケーションに応じて対物レンズをご選択いただけます