顕微画像分光法による、透明多層膜の膜厚分布を可視化できる膜厚モニタです。
光干渉法により膜厚を計算しているため、
0.1nm以下の分解能で膜厚分布を3D表示可能です。

  • ポリシリコンの結晶性評価
  • ポーラス膜の密度評価
  1. 膜厚分布をその場で可視化
    • 顕微鏡視野内の任意領域の
      膜厚・膜質分布を 測定し、分布を3D表示
  2. 膜厚測定分解能 0.1nm以下
    • 可視波長光干式膜厚計と同等の分解能
    • 450nmから750nmの波長範囲を1nm単位で指定可能
  3. 高速・多層膜同時測定 9層対応
    • ファイバー式膜厚モニタと同じ計算エンジンを使用し並列演算

    応用対象例

    1. ① 数百層の繰り返し積層膜、トレンチなどの複合構造
    2. ② EMA(有効媒質近似)法によるサブミクロンパターンの密度推定
    3. ③ 局所的な結晶性評価
  1. 対物レンズと領域指定による任意領域の膜厚分布測定
    • 低倍の対物レンズを使用して5mm□以上の領域測定
    • 高倍の対物レンズを使用して1um以下の空間分解能で測定